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产品&服务

单片式兆声波清洗设备 下一条 上一条 < 返回

GL MegaClean
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本设备主要用于晶圆清洗等工艺。

本设备主要用于晶圆清洗等工艺。

主要功能

●基材尺寸最大300mm直径以下圆片清洗

●单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗

●适用于清洗纳米压印基材表面

●适用于母模具表面无损清洗(兆声波清洗)

设备照片

1.jpg

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