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GL150 PreNIL & GL300 PreNIL
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全自动纳米压印光刻预处理设备,自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。

全自动纳米压印光刻预处理设备,自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。

主要功能

●全自动纳米压印光刻基底预处理

●机械手自动上下片,包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能

●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗

●旋涂匀胶,包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能

●热板烘烤、冷板冷却功能

设备照片

1.jpg

相关参数

兼容基底尺寸

2inch100mm150mm特殊尺寸可定制

兼容母模具尺寸

100mm150mm200mm

特殊尺寸可定制

上下片方式

Cassette to cassette全自动上下片

晶圆预对位

光学巡边预对位

纳米压印工艺

专门为LED (n)PSS大规模量产细节优化

紫外固化光源

紫外LED365nm)面光源,

光强>1000mW/cm2水冷冷却

2000mW/cm2类型光源可选配)

设备内部环境控制

标配,外部环境class 100,内部环境优于Class 10*

自动压印

支持

自动脱模

支持

自动工作模具复制

支持

自动工作模具更换

支持

产能(WPH)

4英寸可达240片每小时*

6英寸可达200片每小时*


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