全自动纳米压印光刻预处理设备，自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。
全自动纳米压印光刻预处理设备，自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。
●全自动纳米压印光刻基底预处理
●机械手自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能
●毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
●旋涂匀胶，包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能
●热板烘烤、冷板冷却功能
兼容基底尺寸 |
2inch、100mm、150mm特殊尺寸可定制 |
兼容母模具尺寸 |
100mm、150mm、200mm 特殊尺寸可定制 |
上下片方式 |
Cassette to cassette全自动上下片 |
晶圆预对位 |
光学巡边预对位 |
纳米压印工艺 |
专门为LED (n)PSS大规模量产细节优化 |
紫外固化光源 |
紫外LED（365nm）面光源， 光强>1000mW/cm2，水冷冷却 （2000mW/cm2类型光源可选配） |
设备内部环境控制 |
标配，外部环境class 100，内部环境优于Class 10* |
自动压印 |
支持 |
自动脱模 |
支持 |
自动工作模具复制 |
支持 |
自动工作模具更换 |
支持 |
产能(WPH) |
4英寸可达240片每小时* 6英寸可达200片每小时* |