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旋涂匀胶设备+热板 下一条 上一条 < 返回

GL Spin+HP
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本设备主要用于胶体旋涂,烘烤等工艺。

本设备主要用于胶体旋涂,烘烤等工艺。

主要功能

●适用于最大300mm直径以下圆片或者9英寸方片旋涂匀胶与烘烤工艺

●最大转速5000rpm

●自动供胶系统、EBR、BSR

●气流控制保证旋涂均匀性

设备照片

1.jpg

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